在X熒光光譜儀分析中，粉末試樣極為常見，因其制樣技術對分析結果影響重大，備受關注。粉末樣品分析主要有熔融法和粉末壓片法，前者制樣復雜、耗時且成本高，相比之下，粉末壓片法簡單、快速又經濟，在水泥、巖石、化探樣品分析中應用廣泛。
粉末壓片制樣法主要分干燥焙燒、混合研磨、壓片三步，有多種具體操作方式。在添加劑使用上，粘結劑加入量為樣品的10% - 50%，過多會影響輕元素檢出限，低壓聚乙烯是理想固體粘結劑，乙醇、聚乙烯醇等液體粘結劑能制成均勻、重復性好且堅固耐用的壓片。除粘結劑外，還可添加助磨劑、內標元素、稀釋劑等，用液體粘結劑或助磨劑壓片后需烘干，固體添加劑則要精確稱重、混合均勻，大批量分析常用直接壓片或襯底壓片法。
粉碎技術也十分關鍵。如今多采用機械振動磨或球磨機，效率頗高，一般樣品可粉碎至74μm以下，優秀者能達到20μm左右。不過，粉碎時間需把控，顆粒度減小到一定程度會“團聚”，且粉碎容器可能因長時間使用或不同試樣間相互污染，所以要選對容器，每次粉碎后都要清洗干凈，樣品量多時可先用少量樣品預“清洗”。
壓片環節，常見壓樣設備有手動或電動液壓機，粉末樣品裝入鋁杯、鋁環或塑料環，在模具中加壓成型。由于X熒光光譜儀是表面分析，對樣品表面要求高，必須保證表面無污染且平滑。因此，每次壓片后要洗凈模具表面，塞柱表面定期拋光。壓片后應盡快測量，若需保存，要注意防止表面污染、破損、吸潮、氧化和吸附空氣等，以確保分析結果的準確性。